在线客服:
亚博直播 亚博直播
全国服务热线:010-34915482
您的位置:首页 > 新闻中心 >

气体质量流量控制器控制的原理,结构和应用说明

浏览 159次 来源:【jake推荐】 作者:-=Jake=-    时间:2021-02-24 08:24:38
[摘要] 分流器决定主通道的流量热式气体质量流量计。气体质量流量控制器的检测范围为2~气体质量流量控制器的“阀控"线置于“清洗"位时也可以当成气体质量流量计使用。3、气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围

1、流量传感器采用毛细管传热测温原理yb官网 ,测量气体的质量流量,并将传感器加热桥所测得的流量信号发送到放大器进行放大,并将放大后的流量测量电压将其与设定电压进行比较,然后放大差信号以控制调节阀,并通过闭环控制来控制流量,使其等于设定流量。分流器确定主通道热气体质量流量计的流量。由控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。满量程检测输出电压为5VDC。气体质量流量控制器的检测范围为2〜100%满量程(量程比为50:1),流量分辨率为0. 1%满量程。

电子膨胀阀 气体质量流量计的作用_气体化学反应产生膨胀_气体流量质量传感器

注意:将气体质量流量控制器的“阀门控制”线设置为“清洁”位置时,它也可以用作气体质量流量计。此时YABO88 ,流量检测输出电压的输出值可能达到10VDC或更高。应该注意的是,一旦输出电压超过5VDC,流量检测电压与实际流量就没有线性关系。在清洁过程中,流量显示不准确,流量可能会增加而显示会减少,但这不会损坏质量流量控制器。

2、气体质量流量计和气体质量流量控制器结构气体质量流量计包括流量传感器,分流器通道以及流量放大,线性化和温度补偿电路。增加电磁阀和PID控制回路以构成流量控制器。

电子膨胀阀 气体质量流量计的作用_气体流量质量传感器_气体化学反应产生膨胀

3、气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围

MFC和MFM可以广泛用于石油化工,半导体和集成电路,特殊材料电子膨胀阀 气体质量流量计的作用,医药,环保和真空等领域的科学研究和生产。典型应用包括:电子工艺设备,例如氧化,CVD,扩散,外延,等离子体蚀刻,离子注入和溅射,以及微反应设备电竞下注 ,气体分配和混合系统,涂覆设备,光纤熔炼电子膨胀阀 气体质量流量计的作用,气相色谱仪和其他分析仪器。

应用对象:质量流量控制器应用系统集成商,特殊气体制造商,真空部件供应商,真空系统集成商,特殊气体制造商,真空部件供应商,真空系统集成商,电池系统集成商,生化系统集成商,气体组装线集成商,大学实验室,煤气公司亚博体彩 ,研发

老王
本文标签:质量流量,流量,通信

推荐阅读

最新评论